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本发明公开了一种新型射频模块、制作方法及电子设备,包括:衬底晶圆;微同轴结构,位于衬底晶圆上;侧墙,位于衬底晶圆上,且围绕微同轴结构设置;射频芯片,倒装在微同轴结构上,射频芯片的信号端与微同轴结构的第一端口连接,盖板晶圆,与衬底晶圆键合,盖...该专利属于赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种新型射频模块、制作方法及电子设备,包括:衬底晶圆;微同轴结构,位于衬底晶圆上;侧墙,位于衬底晶圆上,且围绕微同轴结构设置;射频芯片,倒装在微同轴结构上,射频芯片的信号端与微同轴结构的第一端口连接,盖板晶圆,与衬底晶圆键合,盖...