下载一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴的技术资料

文档序号:32664191

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本发明公开了一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴,包括前端盖、外壳、后端盖、止推轴承、径向气浮轴承以及主轴,所述前端盖设置于所述外壳的前端,所述止推轴承和所述后端盖依次设置于所述外壳的后端,所述径向气浮轴承固定安装于所述外壳内,所述主轴...
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