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本发明涉及一种射频离子源离子束稳定性判断方法，包括，S1，射频离子源开启时间t满足条件ta≤t≤tb时，每间隔时间
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该专利属于中国兵器科学研究院宁波分院所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器科学研究院宁波分院授权不得商用。

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