下载太阳能电池硅片的背面钝化工艺的检测方法及优化方法的技术资料

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一种太阳能电池硅片的背面钝化工艺的检测方法及优化方法,所述硅片的背面顺次沉积有多个钝化膜层,所述检测方法包括:所述硅片的背面钝化工艺中,在所述硅片的背面分别沉积至所述多个钝化膜层的每一层后,进入PL测试步骤,制得沉积有不同钝化膜层数量的多个...
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