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太阳能电池硅片的背面钝化工艺的检测方法及优化方法技术
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文档序号:32659031
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一种太阳能电池硅片的背面钝化工艺的检测方法及优化方法,所述硅片的背面顺次沉积有多个钝化膜层,所述检测方法包括:所述硅片的背面钝化工艺中,在所述硅片的背面分别沉积至所述多个钝化膜层的每一层后,进入PL测试步骤,制得沉积有不同钝化膜层数量的多个...
该专利属于晶澳太阳能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶澳太阳能有限公司授权不得商用。
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