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本发明公开了一种生产半导体用纳米级硅微粉的研磨系统,涉及半导体技术领域。该生产半导体用纳米级硅微粉的研磨系统,包括储水箱、研磨机构、升降机构、防尘机构和降温机构,所述储水箱的顶部固定安装有两组竖板。该生产半导体用纳米级硅微粉的研磨系统,通过...
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