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本发明涉及碳化硅晶体技术领域，且公开了一种碳化硅晶体缺陷检测装置，包括箱体，所述箱体顶部固定连接有壳体，所述箱体内部设置有检测机构，所述箱体内部设置有旋转机构，所述箱体内底部固定连接有固定机构，所述箱体前侧通过合页铰接有门板，所述门板前侧设...
该专利属于山东睿芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东睿芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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