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一种环形可寻址冷阴极X射线源器件及其制备方法和应用技术
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下载一种环形可寻址冷阴极X射线源器件及其制备方法和应用的技术资料
文档序号:32655210
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本发明公开了一种环形可寻址冷阴极X射线源器件,包括呈环状或多边形状的阳极、阴极,阳极包括阳极基板及透射靶薄膜,阴极包括阴极基板、阴极电极、绝缘层、栅极电极及多个低维纳米冷阴极;阴极基板,阴极电极、绝缘层及栅极电极设置在阴极基板的内壁上,绝缘...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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