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提供一种能够对吸附力的不均进行抑制，并降低成本的载置台、基板处理装置及吸附方法。该载置台包括：基台；静电吸盘，设置在所述基台上，并且在内部具有2极以上的n极的电极；以及电源，向所述n极的电极施加相位彼此不同的2相以上的n相的周期性地正负交替...
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