下载一种电容器结构及其形成电容器结构的方法的技术资料

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本披露涉及电容器结构及形成电容器结构的方法,在晶圆第一侧形成第一电容器,并在第二侧形成第二电容器,所述电容器结构包括第一电容器及第二电容器。本披露在中介层的两端制成沟槽电容器,可以提升电容值,进而大幅增加供电稳定性。供电稳定性。供电稳定性。...
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