下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底;在衬底上形成若干分立的纳米结构,相邻的纳米结构之间具有凹槽;在衬底上形成第一介质层和初始隔离结构,所述第一介质层的顶部表面低于所述纳米结构的顶部表面,且所述第一介质层位于所述初始隔离结构部分侧壁表面...
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