下载密封的整体式微机电系统开关的技术资料

文档序号:3265058

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一种MEMS开关包括微机械加工的单层(122),该单层(122)具有杠杆(52)、一对扭杆(66a、66b)和框架(64)。框架(64)支撑杠杆(52)以绕扭杆(66a、66b)所建立的轴线(68)转动。在杠杆(52)末端处的短路棒(58a...
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