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本发明公开了一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置，属于晶片加工技术领域，一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置，包括箱体、机器手臂、存储罐和晶片本体，所述存储罐位于箱体内，所述存储罐侧壁联通有进气管，所述箱体内设有电机，所述电机的输出端连接有第一...
该专利属于阮庆贤所有，仅供学习研究参考，未经过阮庆贤授权不得商用。

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