下载一种晶圆调度方法、装置、存储介质及电子设备的技术资料

文档序号:32649383

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本发明公开了一种晶圆调度方法、装置、存储介质及电子设备,该方法包括:获取待调度晶圆;根据预先设定的测量特性确定待调度晶圆的传输路径;根据所述传输路径调度待调度晶圆。通过实施本发明,基于预先设定的测量特性确定晶圆的传输路径,然后基于该传输路径...
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