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本申请实施例公开了一种曝光装置及其组合光罩，其中，组合光罩包括：第一金属层，所述第一金属层上开设有多个第一透光孔；第二金属层，与所述第一金属层相对设置，所述第二金属层上开设有多个第二透光孔，所述第二透光孔沿光轴与所述第一透光孔对应设置。本申...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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