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本发明的实施例公开了一种应用于真空溅射设备的基板承载装置，包括：支撑框架；若干支撑支架，间隔地固定安装于所述支撑框架上；压力传感器，设于所述支撑支架上；支撑顶针，设于所述压力传感器上；托盘，设于所述支撑顶针上，用于承载基板。根据本发明，将压...
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