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扇出式堆叠芯片的封装方法及封装结构技术
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文档序号:32644643
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本发明提供一种扇出式堆叠芯片的封装方法及封装结构,该方法包括:将第一芯片固定在假片上的槽体内,第一芯片和假片均设置有多个导电通孔;将第二芯片分别与假片和第一芯片进行混合键合,第二芯片在假片上的正投影与假片重合;形成塑封层,塑封层包裹第一芯片...
该专利属于通富微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通富微电子股份有限公司授权不得商用。
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