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本发明提供一种用于HJT电池非晶硅的清洗方法，方法采用刻蚀机进行，清洗时分别对非晶硅的每一面进行酸洗、水洗、碱洗、再水洗和烘干五道工序，最终完成HJT电池非晶硅的清洗。本发明使用传统PERC刻蚀机清洗，具有清洗速度快、工艺步骤简单、药液活性...
该专利属于晋能清洁能源科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能清洁能源科技股份公司授权不得商用。

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