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本发明涉及晶圆表面清洗技术领域，具体为一种用于晶圆清洗的两相流喷射装置和清洗方法，其包括载台、旋转支杆、固定于旋转支杆上的转臂、固定于转臂上的两相流喷嘴，液体管道和气体管道。该装置采用低温助推气体对晶圆表面进行预冷却，将晶圆表面温度降低至接...
该专利属于上海纯元环保科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海纯元环保科技有限公司授权不得商用。

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