温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括箱体及其内部的清洗组件，所述箱体具有顶盖、侧壁和底板，顶盖包括顶盖基座和维护门，顶盖基座上设有与维护门匹配的开口，维护门可拆卸地安装在开口处以便于维护清洗组件，维护门的下表面由中间向两侧倾斜，顶盖基座的下表...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。