温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体氧化技术领域，尤其涉及一种半导体制造氧化装置，包括氧化箱，所述氧化箱的内部通过驱动件转动设置有壳体，且氧化箱的上端设有遮盖件，且氧化箱的前端设有输氧件，且氧化箱的内部设有加热件，所述壳体的内部一端侧壁固定连接有定位板，且...
该专利属于明捷精密机械（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明捷精密机械（太仓）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。