下载高压二极管及工艺方法的技术资料

文档序号:32636245

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本发明公开了一种高压二极管的工艺方法,利用漂移区注入工艺在P阱的外围形成额外的漂移区,漂移区能优化器件表面电场杂质浓度梯度的分布,提高器件的击穿电压。提高器件的击穿电压。提高器件的击穿电压。
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