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镀膜装置制造方法及图纸
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下载镀膜装置的技术资料
文档序号:32630613
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本发明公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括:腔体,腔体设有两个对应的开口端;靶材,靶材设置于腔体内,靶材用于生成靶材原子;基片,基片设置于腔体内,基片与靶材对应设置,基片与靶材形成间隙通道;多个阻挡件,多个阻挡件设置于间隙通道,多个阻挡件与靶...
该专利属于宜昌南玻显示器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜昌南玻显示器件有限公司授权不得商用。
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