下载镀膜装置的技术资料

文档序号:32630613

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括:腔体,腔体设有两个对应的开口端;靶材,靶材设置于腔体内,靶材用于生成靶材原子;基片,基片设置于腔体内,基片与靶材对应设置,基片与靶材形成间隙通道;多个阻挡件,多个阻挡件设置于间隙通道,多个阻挡件与靶...
该专利属于宜昌南玻显示器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜昌南玻显示器件有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。