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一种电弧法制备合金纳米颗粒的设备与方法,该设备的上部为气相沉积室,气相沉积室连接密封室,气相沉积室的外壁设有加热器,气相沉积室连接水冷阳极和水冷通气阴极,气相沉积室的下方通过锥形捕集罐插入捕集室中。气相沉积室通过阀门连接分子泵和机械泵,机械...
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