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本发明作为一种在抛光工艺中使用的抛光垫的终点检测用窗口，在进行抛光工艺终点检测时，防止因抛光装置的激光的不同而导致的终点检测性能的偏差，从而可以防止终点检测发生错误。另外，本发明可以提供一种使用所述抛光垫的半导体器件的制造方法。的半导体器件...
该专利属于SKC索密思株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SKC索密思株式会社授权不得商用。

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