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组合物和使用该组合物的方法用于在具有表面特征的衬底的至少表面上形成含硅膜，例如但不限于碳化硅、氮氧化硅、碳掺杂氮化硅、碳掺杂氧化硅或碳掺杂氮氧化硅膜。含硅膜使用含有至少一个Si
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该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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