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本实用新型涉及电子芯片技术领域，具体地说，涉及一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备，包括涂膜体，涂膜体包括对称设置的支撑柱，支撑柱之间连通有固定杆，固定杆一端安装有涂膜盘，涂膜盘呈开口向上的圆形结构，固定杆的表面套接有连接板，连接板的一端内安...
该专利属于上海艾深斯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海艾深斯科技有限公司授权不得商用。

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