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一种晶体生长装置制造方法及图纸
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下载一种晶体生长装置的技术资料
文档序号:32599715
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本实用新型公开了一种晶体生长装置,包括:壳体,设置第一通孔;籽晶杆移动组件,设置于壳体外;籽晶杆,与籽晶杆移动组件连接并穿过第一通孔;坩埚,位于壳体内,并用于装载熔体,坩埚位于籽晶杆下方;加热装置,围绕坩埚设置;红外测温器,设置于壳体,红外...
该专利属于杭州富加镓业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州富加镓业科技有限公司授权不得商用。
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