下载一种高精度定位晶片边缘表面抛光装置的技术资料

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本实用新型公开了一种高精度定位晶片边缘表面抛光装置,包括晶片固定旋转组件(1),所述晶片固定旋转组件(1)包括晶片定位组件安装板(19);还包括晶片定位组件(2),晶片定位组件(2)安装在晶片定位组件安装板(19)上,所述晶片定位组件(2)...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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