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本实用新型公开了一种晶圆片点测机的探测装置，涉及点测技术领域，包括主体装置和探针安装管，所述主体装置的内部设置有安装圆盘，所述安装圆盘的上表面开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定连接有第一内置卡圈，所述安装槽的内壁活动连接有探针安装管，所述探...
该专利属于鞍山方腾光源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鞍山方腾光源技术有限公司授权不得商用。

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