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一种半导体器件高低温测试系统和方法技术方案
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文档序号:32576005
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本发明公开一种半导体器件高低温测试系统和方法,属于半导体器件测试技术领域。针对现有技术中存在的半导体器件在高低温检测时操作复杂,检测效率低,检测成本高的问题,本发明提供一种半导体器件高低温测试系统和方法,待检测半导体器件通过传送轨道进入检测...
该专利属于长电科技(滁州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长电科技(滁州)有限公司授权不得商用。
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