下载加热灯安装结构及半导体腔室的技术资料

文档序号:32573810

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本发明提供一种加热灯安装结构及半导体腔室,其中,加热灯安装结构用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上,加热灯安装结构包括固定环、灯座和与灯座对应设置的调节组件,固定环用于固定设置在半导体腔室的腔体上,固定环开设有安装槽,灯座容置于安装槽中,灯...
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