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本发明公开了一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，包括：外壳组件，其顶部固定安装有真空气泵，所述真空气泵的管道固定贯穿安装在所述外壳组件上，且外壳组件由箱壳和密封门两部分构成，密封门通过紧固螺栓固定在箱壳上；还包括：储料筒，其设置在所述外...
该专利属于苏州文迪光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州文迪光电科技有限公司授权不得商用。

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