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静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备技术方案
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文档序号:32566710
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本公开公开了一种静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备。该静电微机电系统换能器包括:第一电极;相对于第一电极能移动的第二电极;以及位于第一电极和第二电极之间的电介质层,其中,所述电介质层包括标准部分和泄漏部分,所述标准部分的材料是标准电介...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。
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