下载一种晶圆桥接导线结构改善方法的技术资料

文档序号:32566101

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本发明公开了一种晶圆桥接导线结构改善方法,包括:步骤S10,对若干晶圆分别刻蚀硅通孔;步骤S20,对若干所述硅通孔处分别进行第一次湿法清洗;步骤S30,在若干所述硅通孔的内壁分别形成第一阻挡层;步骤S40,对若干所述硅通孔处分别进行第二次湿...
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