下载一种装料方法、设备以及系统和计算机存储介质的技术资料

文档序号:32564943

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本发明公开一种装料方法、设备以及系统和计算机存储介质,涉及硅片生产技术领域,以解决目前整个装料环节存在很多等待的浪费、转运的浪费、以及不增值动作的浪费的技术问题。包括:根据所述单晶炉中控系统生成的加料请求信息,在立体库中确定满足所述加料请求...
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