下载一种籽晶上置改进型热交换法生长高温氧化物晶体装置及方法的技术资料

文档序号:32562913

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种籽晶上置改进型热交换法生长高温氧化物晶体装置及方法,包括:将泡生法、提拉法(CZ)、热交换法(HEM)、温梯法(TGT)、坩埚下降法和泡生法(KY法)结合在一起,创造一个采用了自上而下气体从炉膛顶部的正中心流入、通过规划流动...
该专利属于上海欣黎机电科技有限公司黄小卫所有,仅供学习研究参考,未经过上海欣黎机电科技有限公司黄小卫授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。