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本申请涉及一种陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备。常温下将陶瓷原料粉进行预压，并将射频电极及加热部件和陶瓷原料粉预成型，然后与烧制好的陶瓷管进行热压一次成型陶瓷加热盘，一次的高温烧制避免重复多次的高温过程容易引起加热盘体内部电阻的...
该专利属于苏州珂玛材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州珂玛材料科技股份有限公司授权不得商用。

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