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本申请提供一种微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法。微机电系统声学传感器包括一基底、一悬臂结构以及一振膜式传感器。该悬臂结构形成于该基底上，并包括一固定端与一自由悬部从该固定端延伸出。该自由悬部包括一自由端。该自由端与该固定...
该专利属于阿比特电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿比特电子科技股份有限公司授权不得商用。

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