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本发明一种半导体器件的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有若干分立排布的初始鳍部;在所述衬底上形成隔离结构;在所述初始鳍部的侧壁上以及相邻的所述初始鳍部之间形成连接层;在所述衬底上形成横跨所述初始鳍部以及所述连接层的伪栅极结构,所述伪...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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本发明一种半导体器件的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有若干分立排布的初始鳍部;在所述衬底上形成隔离结构;在所述初始鳍部的侧壁上以及相邻的所述初始鳍部之间形成连接层;在所述衬底上形成横跨所述初始鳍部以及所述连接层的伪栅极结构,所述伪...