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本发明提供一种MEMS陀螺正交误差校正系统,包括:MEMS陀螺敏感模态电极,用于生成位移信号;预处理组件,与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连,用于将所述位移信号转换为数字电压信号;数字解调组件,与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种MEMS陀螺正交误差校正系统,包括:MEMS陀螺敏感模态电极,用于生成位移信号;预处理组件,与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连,用于将所述位移信号转换为数字电压信号;数字解调组件,与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极...