温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种含硅粉的氯硅烷处理系统，属于多晶硅生产技术领域，包括主过滤器、残液过滤器和储罐，所述主过滤器旁侧设有进料口I；底部设有排出口；上部设有清液移出口I；顶部连接有N2反吹管线，所述残液过滤器包括旁侧设有进料口II；上部设有清...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。