一种含硅粉的氯硅烷处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种含硅粉的氯硅烷处理系统，属于多晶硅生产技术领域，包括主过滤器、残液过滤器和储罐，所述主过滤器旁侧设有进料口I；底部设有排出口；上部设有清液移出口I；顶部连接有N2反吹管线，所述残液过滤器包括旁侧设有进料口II；上部设有清液移出口II；底部设有渣料排出口，所述残液过滤器外部设有加热夹套，所述储罐包括进口和出口，所述进料口I连接进料管线，所述排出口连接进料口II，所述清液移出口II连接进口，所述出口通过管道I与进料管线连通，解决现有技术中含氯硅烷的尾气处理系统耗时长，操作人员劳动强度大，氯硅烷损耗较大的问题。损耗较大的问题。损耗较大的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种含硅粉的氯硅烷处理系统


[0001]本技术属于多晶硅生产
，具体涉及一种含硅粉的氯硅烷处理系统。

技术介绍

[0002]在多晶硅生产的原回收工艺工段中，来自还原工序的含氯硅烷的尾气经过冷凝器冷凝后，冷凝液通过机泵输送至硅粉过滤器进行硅粉拦截，清液最后送入回收钢构装置。拦截下的硅粉通过氮气反吹进入卧式蒸汽夹套储罐中进行存储，储罐使用蒸汽加热，将反吹含硅粉的氯硅烷持续进行汽化分离，当储罐内硅粉液位达到预设值之后切换至备用储罐使用，然后继续通过蒸汽加热，使用氮气置换氯硅烷，将氯硅烷蒸发放空至废气处理装置，剩余硅粉再通过人工掏挖的方式进行处理，这样的处理方式具有以下缺点：
[0003]①
硅粉处理周期长：蒸汽加热蒸发氯硅烷时间需要15
‑
20天，人工掏挖硅粉耗时15
‑
20天，单个储罐硅粉清理周期超过一个月时间；
[0004]②
氯硅烷损失：使用蒸汽持续加热蒸发氯硅烷过程中，大量氯硅烷通过放空至废气处理系统，虽然废气处理系统前有深冷回收，但也会造成一定氯硅烷损失；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含硅粉的氯硅烷处理系统，其特征在于：包括主过滤器（1）、残液过滤器（2）和储罐（3），所述主过滤器（1）旁侧设有进料口I（1.1）；底部设有排出口（1.2）；上部设有清液移出口I（1.3）；顶部连接有N2反吹管线（4），所述残液过滤器（2）包括旁侧设有进料口II（2.1）；上部设有清液移出口II（2.2）；底部设有渣料排出口（2.3），所述残液过滤器（2）外部设有加热夹套（2.4），所述储罐（3）包括进口（3.1）和出口（3.2），所述进料口I（1.1）连接进料管线（5），所述排出口（1.2）连接进料口II（2.1），所述清液移出口II（2.2）连接进口（3.1），所述出口（3.2）通过管道I（6）与进料管线（5）连通。2.根据权利要求1所述的一种含硅粉的氯硅烷处理系统，其特征在于：所述主过滤器（1）上安装有压差计（7）。3.根据权利要求2所述的一种含硅粉的氯硅烷处理系统，其特征在于：与所述储罐（3）的出口（3.2）连接的管道I（6）上设置有增压泵（8）。4.根据权利要求3所述的一种含硅粉的氯硅烷处理系统，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨华，刘品强，蔡光明，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：