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本发明公开了一种光学特性建模方法和装置，该方法包括：将周期介质内的微结构在z方向上划分为N层薄片；针对同一层微结构的薄片，执行如下处理：获取薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域，并将各个封闭区域的边界表示为各个多边形；获取每个多边形顶...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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