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本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备，包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统；还提供了一种团簇离子束纳米加工方法，包括对所述物料进行预处理，研...
该专利属于广东如动纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东如动纳米科技有限公司授权不得商用。

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