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本发明提供了一种生产具有相对高的离子电导率的无机固体电解质薄膜的方法。在该方法中，通过汽相沉积法，在加热的基底元件上，形成由无机固体电解质制成的薄膜。通过热处理获得的该薄膜具有高于在未经加热的基底元件上形成的薄膜的离子电导率。该离子电导率还...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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