下载半导体装置中的内部裂痕的组合透射及反射光的成像的技术资料

文档序号:32524901

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在检验模块中将第一光源引导于工件的外表面处。经由第一路径将来自所述第一光源的从所述工件的所述外表面反射的光引导到相机。经由第二路径将来自所述第一光源的透射穿过所述工件的光引导到所述相机。将第二光源引导于所述工件的所述外表面处,与所述第一光源...
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