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本发明公开了一种基板表面成膜装置及成膜方法，属于自动化技术领域。包括成膜座、第一滑轨和喷射机构，其中成膜座设置在机器人的输出端，第一滑轨连接于成膜座，第一滑轨设有传送机构和定位机构，传送机构设有第一夹持组件和第二夹持组件，传送机构夹取并传送...
该专利属于南京秉昱科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京秉昱科技有限公司授权不得商用。

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