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三维存储器结构中的电容器制造技术
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文档序号:32509600
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本申请涉及三维存储器结构中的电容器。存储器装置可使用阵列下电路CUA架构以三维布置构造。这种存储器装置的存储器阵列可包含以竖直布置的层次安置的存储器单元。在所述存储器阵列在衬底之上延伸的情况下,所述存储器阵列下的CUA区可包含用于所述存储器...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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