专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
美光科技公司
>
用于形成垂直晶体管阵列和存储器单元阵列的方法技术
>技术资料下载
下载用于形成垂直晶体管阵列和存储器单元阵列的方法的技术资料
文档序号:32509370
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请案涉及用于形成垂直晶体管阵列和存储器单元阵列的方法。一种用于形成垂直晶体管阵列的方法,其包括形成支柱,所述支柱个别地包括上源极/漏极区、在所述上源极/漏极区垂直下方的沟道区,和在所述上源极/漏极区上方的牺牲材料。中介材料围绕所述支柱中...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。