温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了真空装置。真空泵具备：泵转子；筐体，收容泵转子；以及监视装置，安装于筐体，检测筐体(3)的振动，筐体具备使制冷剂在与监视装置对置的部分流动的第一流路。监视装置对置的部分流动的第一流路。监视装置对置的部分流动的第一流路。
...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。